六氟化钨检测

检测项目

1. 纯度分析：主成分WF₆含量≥99.99%(体积分数)，采用气相色谱-质谱联用技术

2. 水分含量：≤5 ppm(重量比)，卡尔费休库仑法测定

3. 酸度(以HF计)：≤10 ppm(重量比)，离子色谱法分析

4. 金属杂质：Al≤0.1 ppm、Fe≤0.2 ppm、Ni≤0.05 ppm(ICP-MS测定)

5. 非挥发性残留物：≤50 mg/kg(蒸发残渣法)

检测范围

1. 半导体级WF₆：用于化学气相沉积(CVD)工艺的钨膜制备

2. 核燃料处理气体：铀浓缩离心机用高纯WF₆

3. 电子特气混合物：WF₆/Ar/H₂混合配比气体

4. 储运容器残留：钢瓶内壁腐蚀产物分析

5. 工艺尾气监测：未反应WF₆的回收再利用评估

检测方法

ASTM E29-22《气体纯度测定标准实践》

ISO 10101-3:2022《天然气-卡尔费休法测定水分》

GB/T 5832.1-2016《气体中微量水分的测定 第1部分：电解法》

GB/T 28727-2019《气体分析 微量硫化合物的测定》

IEC 60754-3:2020《材料燃烧释放气体中氟化物测定》

检测设备

1. Agilent 7890B气相色谱仪：配备FID检测器与PLOT Q色谱柱

2. Metrohm 917 Coulometer库仑法水分仪：分辨率0.1 μg H₂O

3. Thermo iCAP RQ ICP-MS：检出限达ppt级金属杂质分析

4. Mettler Toledo DL39 Karl Fischer滴定仪：动态量程0.001%-100%

5. Shimadzu TOC-L总有机碳分析仪：测定有机残留物

6. Bruker ALPHA II傅里叶红外光谱仪：特征官能团识别

7. HORIBA PG-350气体分析系统：多组分在线监测

8. PerkinElmer Clarus SQ8 GC/MS：痕量挥发性有机物检测

9. AMETEK Dynacal渗透管：标准气体动态发生装置

10. INFICON HAPSITE ER便携式气质联用仪：现场快速筛查

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于六氟化钨检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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