电子束收注栅检测

检测项目

1. 栅极间距精度检测：测量精度±0.1μm，允许公差±0.5μm

2. 材料成分分析：元素含量检测下限达0.01wt%

3. 表面粗糙度测试：Ra≤0.05μm(测量范围0.01-10μm)

4. 热膨胀系数测定：温度范围-196℃~1200℃，CTE重复性误差≤0.1×10⁻⁶/K

5. 电子透过率测试：能量范围1-30keV，透过率偏差≤±1.5%

检测范围

1. 钨钼合金栅极组件(W含量≥95%，Mo≤5%)

2. 氧化铝陶瓷绝缘基板(Al₂O₃纯度≥99.6%)

3. 镀金铜质支撑结构(镀层厚度2-5μm)

4. 钇稳定氧化锆涂层(YSZ涂层厚度50-200nm)

5. 钛合金真空焊接件(Ti-6Al-4V ELI级)

检测方法

1. ASTM E3-11：金相试样制备与显微组织分析

2. ISO 4287:1997：非接触式激光干涉表面形貌测量

3. GB/T 4339-2008：热膨胀系数激光干涉法测定

4. ASTM E1508-12：电子探针微区成分分析

5. GB/T 13962-2009：电子光学仪器像质测试规范

检测设备

1. Hitachi SU5000场发射扫描电镜：分辨率1nm@15kV，配备Oxford X-Max 80能谱仪

2. Zygo NewView9000白光干涉仪：垂直分辨率0.1nm，横向分辨率0.35μm

3. Netzsch DIL402C热膨胀仪：温度控制精度±0.1℃，膨胀量分辨率0.125nm

4. Bruker D8 ADVANCE X射线衍射仪：角度重复性±0.0001°，2θ范围-110°~168°

5. Keysight N6781A精密电源：输出精度±0.02%，纹波噪声＜350μVrms

6. Agilent 4156C半导体参数分析仪：最小电流分辨率10aA

7. Thermo Scientific ARL EQUINOX 1000 XRF光谱仪：元素检测范围Be-U

8. Mitutoyo CMM三次元测量机：空间精度(1.9+L/250)μm

9. Pfeiffer Vacuum HiCube 80 Eco真空系统：极限真空度5×10⁻⁸mbar

10.Rigaku ZSX Primus IV波长色散X荧光光谱仪：检出限ppm级

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于电子束收注栅检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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