1. 晶体直径偏差:轴向直径波动范围±0.5mm(基于ASTM F1723标准)
2. 位错密度测定:通过腐蚀法测量表面缺陷密度≤500/cm²(依据GB/T 4058-2017)
3. 氧含量分析:采用FTIR光谱法检测氧浓度8-18 ppma(参照SEMI MF1188)
4. 电阻率均匀性:四探针法测量径向偏差≤5%(执行GB/T 1551-2009)
5. 晶向偏差检测:X射线衍射法测定偏离角≤0.5°(按ISO 14707:2020实施)
1. 半导体级单晶硅棒(Φ200-450mm)
2. 砷化镓(GaAs)激光器用晶圆
3. 蓝宝石衬底(Al₂O₃)晶体
4. 碳化硅(SiC)功率器件基板
5. 磷化铟(InP)光通信衬底材料
1. ASTM F1723-2018:单晶硅直径测试规程
2. ISO 14707:2020:晶体取向X射线测定法
3. GB/T 1551-2009:硅单晶电阻率测试方法
4. GB/T 1558-2021:硅中氧含量的红外吸收测量
5. SEMI MF1723-1109:砷化镓位错密度腐蚀检测
6. JIS H 0605:2019:晶体生长条纹观测规范
1. X射线衍射仪(PANalytical X'Pert3 MRD):晶向偏离角测量精度±0.01°
2. 激光测径系统(KEYENCE LS-9000):实时直径监测分辨率0.1μm
3. 傅里叶红外光谱仪(Thermo Scientific Nicolet iS50):氧含量检测限0.05ppma
4. 四探针电阻率测试仪(Lucas Labs Pro4-4400):测量范围0.0001-100Ω·cm
5. 金相显微镜(Olympus BX53M):位错密度分析放大倍数1000X
6. 高温霍尔效应仪(Lake Shore 8404):载流子浓度测试温度范围77-800K
7. X射线荧光光谱仪(Shimadzu EDX-8000):金属杂质检出限0.1ppm
8. 原子力显微镜(Bruker Dimension Icon):表面粗糙度Ra≤0.1nm
9. 热场发射扫描电镜(Hitachi SU5000):晶体缺陷分析分辨率1nm
10. 低温光致发光谱仪(Horiba LabRAM HR Evolution):缺陷态密度测试波长325nm
报告:可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期:7~15工作日,可加急。
资质:旗下实验室可出具CMA/资质报告。
标准测试:严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试:支持定制化试验方案。
售后:报告终身可查,工程师1v1服务。
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