溅射膜检测

检测项目

1.膜层厚度：测量范围10nm-50μm，精度0.5nm(台阶仪法)

2.附着力强度：划痕法临界载荷1-100N(ISO20502)

3.成分分析：EDS元素检出限0.1-1.0at%(SEM-EDS联用)

4.表面粗糙度：Ra值测量范围0.1-500nm(AFM法)

5.电阻率：四探针法测量范围10^-6-10³Ωcm(GB/T1551)

检测范围

1.半导体材料：硅片溅射铝/铜膜层

2.光学镀膜：ITO透明导电膜

3.金属涂层：磁控溅射CrN/TiN硬质膜

4.聚合物基材：PET镀铝功能膜

5.陶瓷涂层：射频溅射Al₂O₃绝缘层

检测方法

ASTMB748-90(2016)：台阶仪测量金属涂层厚度

ISO20502:2016：划痕法评估陶瓷薄膜附着力

GB/T16525-2017：半导体薄膜四探针电阻测试规程

ISO14707:2015：辉光放电光谱成分分析

GB/T30656-2014：X射线荧光膜厚测量方法

检测设备

1.BrukerDektakXT台阶仪：垂直分辨率0.1

2.CSMRevetest划痕仪：最大载荷200N

3.ThermoScientificNitonXL5XRF：元素范围Mg-U

4.HitachiSU5000场发射SEM：分辨率1.0nm@15kV

5.Keysight5500AFM：扫描范围90μm90μm

6.FourDimensions4DFS300四探针台：电流范围1nA-100mA

7.HoribaGD-Profiler2辉光放电光谱仪：深度分辨率5nm

8.Agilent5500FTIR：波数范围7500-350cm^-1

9.LeicaDM8000M金相显微镜：最大倍率1500

10.VeecoWykoNT9100白光干涉仪：垂直扫描范围1mm

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于溅射膜检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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