电子气检测

检测项目

1. 纯度分析：测定氮气、氩气等电子气主成分含量(≥99.999%)，采用四级杆质谱法

2. 痕量杂质检测：测定O₂、H₂O、CO₂等杂质(ppb级)，配备高灵敏度FID检测器

3. 金属离子含量：钠、钾、铁等金属元素(≤0.1μg/m³)，ICP-MS法测定

4. 颗粒物浓度：0.1-5μm粒径分布(≤1个/cm³)，激光粒子计数器监测

5. 露点温度：水分含量对应值(≤-70℃)，冷镜式露点仪测量

检测范围

1. 高纯电子气体：硅烷(SiH₄)、磷烷(PH₃)、砷烷(AsH₃)等III-V族化合物气体

2. 特种电子气体：六氟化钨(WF₆)、三氟化氮(NF₃)等蚀刻/沉积工艺气体

3. 惰性保护气体：超高纯氦气(He)、氖气(Ne)等载气与保护气

4. 掺杂气体：乙硼烷(B₂H₆)、锗烷(GeH₄)等半导体掺杂介质

5. 反应气体：氯化氢(HCl)、氟化氢(HF)等清洗工艺用腐蚀性气体

检测方法

1. ASTM D1945-14：气相色谱法测定合成气组成

2. ISO 19230:2020：电子级气体中颗粒物在线监测规范

3. GB/T 8979-2008：纯氮、高纯氮和超纯氮技术要求

4. SEMI C3.45-0309：电子特种气体中金属杂质测试指南

5. GB/T 3637-2011：工业液体二氧化碳技术指标测定方法

检测设备

1. Agilent 8890气相色谱仪：配备TCD/FID双检测器，分辨率0.1ppm

2. Thermo Fisher iCAP RQ ICP-MS：检出限达ppt级，支持71种元素分析

3. Mettler Toledo C30露点仪：测量范围-100~+20℃，精度±0.2℃

4. Particle Measuring Systems LS100：0.05μm灵敏度激光粒子计数器

5. Bruker EM27傅里叶红外光谱仪：用于C₂F₆等含氟气体定量分析

6. Horiba VA-3000氦质谱检漏仪：最小可检漏率5×10⁻¹³Pa·m³/s

7. Entegris GASGUARD 3000：在线气体纯度监测系统

8. AMETEK 5100E氧分析仪：量程0-1000ppm，精度±1%FS

9. Shimadzu GC-2030ATFPD：硫化物/磷化物专用气相色谱仪

10. INFICON HAPSITE ER便携式GC-MS：现场快速筛查300种VOCs

北检(北京)检测技术研究院【简称：北检院】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

以上是关于电子气检测相关介绍，如果您还有其他疑问，可以咨询在线工程师提交您的需求，为您提供一对一解答。

注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试，望谅解（高校、研究所等性质的个人除外）。

服务优势

1、拥有完善的检测服务体系，科学、严谨、认证。

2、我院对已出过的报告负责。

3、提供编写MSDS报告、TDS报告服务。

4、检测服务领域广，可参考标准多（国标、企标、通标、工标、国际标准等）。

5、周期短，费用低，方案全。

6、支持定制化试验方案，数据更加科学准确。

7、全国上门取样/现场见证试验。

8、资质全，团队强，后期服务体系完善

报告作用

1、工业问题诊断：包括失效分析、科学诊断、数据验证等，可以快速检测出产品问题，尽快止损；

2、其他鉴定服务：协助相关部门证据链补充、证物材料补充、质量检测、样品分析；

4、研发使用：试验经验丰富，试验设备多，为科研工作提供数据支持；

3、高校论文：提供研究性实验数据、分析服务，给论文提供科学依据；

5、投标：检测周期短，准确性高，出具的第三方检测报告合法合规；

7、控制材料质量，进行产品内控，降低成本、风险。

试验流程

1、与工程师沟通，确定具体的试验方案，我方报价；

2、双方签订委托书，我方接收样品；

3、进行细节沟通，我方进行试验测试；

4、试验测试完成，出具检测测试报告；

5、委托完成，我方提供售后服务。

检测仪器(部分)

合作客户(部分)

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