金属:镍、钛、锌、铬、镁、铌、锡等靶材。
陶瓷:氧化镁、氧化铁、氮化硅、碳化硅、氮化钛靶等靶材。
合金:铁钴、铝硅、钛硅、铬硅、锌铝靶等靶材。
尺寸、偏差、粗糙度、质量、粗糙度、分层、疏松、夹杂、气孔检测等。
外观:缺陷(凹坑、划伤、裂纹、凸起等)、拉伸润滑、颗粒附加、清洁光滑、指痕、锈蚀等检测。
元素分析:Ag、Cu、Fe、Pb、Bi、Sb、Si、Pd等质量分数检测。
GB/T 20510-2017氧化铟锡靶材
GB/T 23611-2009金靶材
GB/T 29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
GB/T 38389-2019氧化铟锡靶材化学分析方法
GB/T 39157-2020靶材技术成熟度等级划分及定义
GB/T 39159-2020集成电路用高纯铜合金靶材
GB/T 39163-2020靶材与背板结合强度测试方法
GB/T 39160-2020薄膜太阳能电池用碲锌镉靶材
JC/T 2201-2013镀膜玻璃用靶材
YS/T 1063-2015钼靶材
XB/T 512-2020镝、铽金属靶材
XB/T 515-2020钪铝合金靶材
YS/T 1024-2015溅射用钽靶材
YS/T 1220-2018铬靶材
YS/T 1234-2018铬钼合金(CrMo)靶材
YS/T 1235-2018钼钛合金(MoTi)靶材
YS/T 826-2012五氧化二铌靶材
YS/T 837-2012溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 893-2013电子薄膜用高纯钛溅射靶材
YS/T 937-2013镍铂靶材
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